ホーム » イオン注入装置

説明:
イオン注入装置は、材料工学プロセスで物質のイオンが電場で加速され、別の固体に影響する加工方法です。このプロセスは、固体の物理的、化学的または電気的特性を変更するために使用されます。イオン注入装置は広範囲で半導体製造装置の部品加工に使用することができ、金属表面処理と材料科学研究における様々な応用もできます。

一般的なイオン注入装置はイオン源、加速器とターゲットチャンバーから成ります。ある意味では、イオン注入装置は粒子放射線の特殊なケースです。各イオンは通常、単一の原子または分子で、従って、ターゲット基板に導入される実際の量は、イオン注入によって与えられる電流です。TLWMは、モリブデン、タングステンイオン源と部品、大電流イオン注入装置、中電流イオン注入装置、高エネルギーイオン注入装置を提供しています。当社の生産製品は、ビームが正確に輸送されることを可能にし、電子は最高1600℃まで生成されます。

応用:
1. ほとんどのモリブデン、タングステンイオン源とイオン注入装置は、半導体産業で使用されます;
2. また、回転スパッタリングターゲットを製造するための太陽電池業界で使用されています;
3. 当社はまたX線や電子管のために生成しています;
4. モリブデン、タングステンイオン源とイオン注入装置もドーピング、シリコンオンインシュレータ、表面仕上げ、工具鋼の強靭化とイオンビームミキシングに適用することができます。

特徴:
1. イオン注入装置は、不純物の用量および深さを非常に正確かつ独立した制御を有します;
2. それは非常に高速に活動します。ウェハ16 "中等量は6秒だけかかります;
3. イオン注入装置を利用することにより、複雑なプロファイルは、マルチエネルギーインプラントすることによって達成することができます。

北京 Tian—Long タングステン & モリブデン 株式会社は、1993年に設立された中国のモリブデンとタングステンイオン注入装置メーカーとサプライヤーです。粉末冶金で約20年間の豊富な経験を持ちTLWMは、またホットゾーン(純粋なモリブデン、MLのモリブデン、TZMのモリブデン、タングステン、タンタル)、熱処理のための断熱スクリーン、加熱要素、ねじ、ナット、スペーサーなどの加熱要素、ハースアセンブリおよび他の高融点金属炉の部品の製造をおこなっています。当社のモリブデンとタングステンイオン注入装置 を、世界30カ国以上のお客様に提供しています。